Микроэлектромеханические системы (МЭМС или MEMS) представляют собой ценную технологию во многих приложениях и уже много лет используются для выполнения ряда функций. Несмотря на то, что сейчас это устаревшая технология, прогресс в технологиях изготовления приводит к уменьшению размеров элементов и компонентов, что позволяет изготавливать МЭМС из все большего и большего количества материалов. Возможность создавать больше элементов, структур и компонентов из более широкого спектра материалов открыла МЭМС для широкого спектра приложений.
