Микроэлектромеханические системы (МЭМС или MEMS) стали основной технологией во многих отраслях, и размер данного рынка продолжает расти. МЭМС представляют собой небольшие устройства, в которых используются как механические, так и электронные части. Эти устройства существуют уже несколько десятилетий и с тех пор превратились в многомиллиардную индустрию. Одной из определяющих особенностей МЭМС является то, что это не отдельное устройство или продукт, скорее, концепция МЭМС представляет собой набор технологий изготовления и процессов проектирования, которые позволяют создавать различные миниатюрные системы. Еще одной ключевой особенностью МЭМС является то, что они не являются готовым продуктом, а разрабатываются и настраиваются для их предполагаемого применения. Здесь мы посмотрим, как с помощью разных процессов создаются различные МЭМС.
